(1)涂(tu)(tu)(tu)敷涂(tu)(tu)(tu)液(ye),把(ba)涂(tu)(tu)(tu)液(ye)涂(tu)(tu)(tu)敷在鈦基體(ti)表(biao)面上(shang),通常使(shi)用刷涂(tu)(tu)(tu)法(fa),也可(ke)采用靜(jing)電噴涂(tu)(tu)(tu)法(fa)、滾(gun)涂(tu)(tu)(tu)法(fa)等(deng)。
(2)烘干(gan),每涂敷一次在(zai)紅外燈(deng),或遠紅外燈(deng)下(xia)烘烤,烘干(gan)溫度一般在(zai)100一200 ℃,讓溶(rong)劑徐徐揮(hui)(hui)發。烘干(gan)工(gong)序(xu)是為了(le)把溶(rong)劑全部揮(hui)(hui)發掉,如(ru)果揮(hui)(hui)發不徹底,帶人(ren)熱氧化工(gong)序(xu)時,會影(ying)響涂層結合力和電極(ji)電化學(xue)性能。
(3)熱氧(yang)化(hua),在(zai)加熱爐(lu)中在(zai)指定溫度下煅燒10一15 min。熱氧(yang)化(hua)溫度過(guo)高(gao),一方(fang)面使涂層(ceng)中含氯量降至很低,涂層(ceng)導電性能惡(e)化(hua);另一方(fang)面,使氧(yang)化(hua)物結晶(jing)體變(bian)大(da),晶(jing)粒過(guo)大(da)會使涂層(ceng)
結(jie)合(he)力下降(jiang),使其電(dian)化(hua)學性(xing)能惡化(hua)。
熱氧化(hua)溫度過低,氧化(hua)不完(wan)全,結合力差,得不到(dao)所需要的電催(cui)化(hua)性能。
氧化溫度(du)影響涂層結(jie)構、成分和(he)性能,一般在400℃以(yi)上,可得到金紅石型結(jie)構的RuO2和(he)TiO2固溶體。
涂層是鉑(bo)族金(jin)屬氧化物時,如RuO2,加熱(re)氣氛必須是氧化性質的,還原(yuan)氣氛不合適。